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マスフローコントローラ

真空・産業機器

マスフローコントローラ
メーカー/堀場エステック

ガスや液体の質量流量を正確に計測し流量制御を行う機器です。使用される環境変化(温度や圧力)に対する補正を行う必要が無く、電気信号により与えられる任意の流量設定値と流量出力値がイコールとなるように、自動的に流量制御を行います。また、流量制御の制御方式には、MPUを搭載した“デジタル制御モデル”と従来からの“アナログ制御モデル”があります。

マスフローコントローラを探すには下記URLをブラウザに貼り付けてご確認ください。
→http://www.horiba.com/jp/horiba-stec/products/mass-flow-controller/

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