Information

差動排気系キット付き四重極型質量分析計 Qulee with YTP

真空・産業機器

差動排気系キット付き四重極型質量分析計 Qulee with YTP
メーカー/アルバック

差動排気系キット付き四重極型質量分析計(Qulee with YTP)は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広く活用いただけます。


特長
・差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析(RGA)まで1台で対応可能
・標準排気ユニットYTP-50Mを採用したコンパクト設計
・PCレスでも測定可能
・One Click機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要)
・大気圧分析も含め、500Pa、100Pa、10Pa、1Paでのモニタリングが可能な仕様を準備
・質量数1〜100(BGM-101/102)、1〜200(BGM-201/202)、1〜300(HGM-302)から選択可能
・ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
・ソフトウエアが標準搭載(Windows XP / 7)


用途
・研究開発用途向け各種ガス分析
・PVD装置、真空蒸着装置などのプロセス中のガスモニタ
・PVD装置、真空蒸着装置などの残留ガス分析
・高真空排気装置の残留ガス分析
・大気圧 (10+5Par) 下での各種ガス分析(大気圧仕様)


取り扱い商品の詳細情報

Copyright © 株式会社アヅマテクノス. All Rights Reserved.