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ドライ真空ポンプLSシリーズ

真空・産業機器

ドライ真空ポンプLSシリーズ
特長
・高速排気
 大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能

・低消費電力
 ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現(C仕様)
 到達圧力時の消費電力は0.6kW以下(LS120A-C)

・低騒音
 専用サイレンサーを標準搭載
 到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下

・ランニングコスト低減
 従来必要だった軸シールガスが不要
 ※L仕様はパージガスを流す事が可能


用途に合わせて選べる2タイプ

C仕様:クリーンプロセス
特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
用途:エアー排気やN2排気などのクリーン排気向け
    スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助等々

L仕様:ライトプロセス
特徴:表面処理、パージ機能を要するライトプロセスタイプ
用途:水蒸気や揮発性薬液排気などのライトプロセス向け
    真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途等々

取り扱い商品の詳細情報

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