表面粗さ測定も輪郭形状測定もこの1台で完結します。 ワイドレンジハイブリット検出器により様々な形状を効率よく評価可能です。

３D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を１ショットで高速測定が可能です。 レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。

表面粗さ測定機と輪郭形状測定機を統合した、高精度・高速・高分解能な測定機です。 光ファイバによるレーザ干渉測長システムを応用して開発した、分解能0.31 nm の高安定倍光路型レーザ干渉センサが搭載されています。 ダイナミックレンジと分解能比は42,000,000：1 もあり、広い範囲の輪郭形状とその形状に隠れている微細な表面性状(表面粗さ)をワントレースで評価できます。

統合測定システムにより表面粗さと輪郭形状を複合的に測定できます。 通常の測定では、検出器の触針角度により測定角度に制限がありましたが、二つの形状データを合成する機能を内蔵することにより、触針の持つ角度によって生じる解析範囲の制限を解決します。

測定から検査成績書作成まで全自動化。優れた操作性を追求した表面粗さ測定機です。 ティーチング機能により、複数箇所の測定からデータ貼り付けによる検査成績書作成まで、一連の作業を全自動で行えます。 膜厚測定（段差／面積）、摩耗量算出（重ね合わせ形状間の面積）、液晶用ガラス基板（特殊うねり）の規格に対応するなど、顧客の要望に応え形状評価機能を大幅に強化しました。

シンプルかつ簡単操作で使いやすさを徹底的に追求した小型タイプの表面粗さ測定機です。 ７インチワイドタッチパネルと簡単操作の新型インターフェースを専用アンプに搭載し、操作性が格段に向上。 条件設定、校正、測定、解析、すべてが直感的で取扱説明不要の簡単操作を実現しました。

多様なニーズに応える、グローバル対応のポータブル表面粗さ測定機です。 クラストップレベルのＺ方向測定レンジ 370μm を有し、その全域で0.0007μm の高分解能を実現。 レンジを意識せずに測定を行えます。 日本語、英語、独語のほか、アジアやヨーロッパなどの20 ヶ国語に標準対応。ボタン操作で簡単に切り替え可能です。