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縦照射型 斜めCTシステム XVA-160RZ は、最大1600倍の高倍率観察に対応した高精度ステージを備える、コストパフォーマンスに優れたモデルです。
標準仕様としてユーセントリック機能、高倍率1600倍、可視光マッピング、フォーカス自動調整を搭載。
ユーセントリック機能（特許 No.3657768）は、ディテクタ傾斜・拡大・ステージ回転時でもサンプル中心を保持し、検査部位を見逃さず解析できます。
オプションの3次元斜めCT機能（特許 No.3694833）では、大型基板でも破壊せずに斜め方向からの3次元断層撮影が可能で、直交CTユニット「Presto」にも対応します。

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