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メーカー : ニコンソリューションズ
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NEXIV VMF-K シリーズは、明視野とコンフォーカルの2つの光学系を搭載し、
高精度な二次元測定と視野内一括の二次元・高さ測定を同時に行えるビデオ測定システムです。光学系の刷新により高さ測定のスキャン速度が向上し、従来機(VMZ-K)比で約1.5倍の測定スループットを実現。さらに、最先端の微細寸法測定ニーズに応えるため、高倍率45倍モデルを新たにラインアップに加え、プローブカードやウェハレベルパッケージなど半導体関連の多様なサンプル測定に対応します。
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