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エキシマランプで培った⾼周波電源技術に弊社独⾃のリアクタ構造を組み合わせた⼤気圧プラズマ照射器。
独自電極構造によるスリム化/コンパクト化を実現した照射装置。
従来設置できなかった狭小エリアへの設置も可能。
低温処理が可能であり、耐熱性の低い樹脂やフィルム機材への照射に有効。
冷却効率の高さから、プロセスガスのみでリアクタの冷却が可能。

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