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メーカー : 東京精密
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統合測定システムにより表面粗さと輪郭形状を複合的に測定できます。 通常の測定では、検出器の触針角度により測定角度に制限がありましたが、二つの形状データを合成する機能を内蔵することにより、触針の持つ角度によって生じる解析範囲の制限を解決します。
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