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表面粗さ測定機と輪郭形状測定機を統合した、高精度・高速・高分解能な測定機です。
光ファイバによるレーザ干渉測長システムを応用して開発した、分解能0.31 nm の高安定倍光路型レーザ干渉センサが搭載されています。
ダイナミックレンジと分解能比は42,000,000：1 もあり、広い範囲の輪郭形状とその形状に隠れている微細な表面性状(表面粗さ)をワントレースで評価できます。

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