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ZEISS MICURAは、小型部品の接触式測定に特化した高精度三次元座標測定機です。
E0, MPE = 0.7+L/400 μmの保証精度を実現し、最小ボール径φ0.3 mmのスタイラスで細部の測定にも対応します。
アクティブスキャニングセンサ「VAST XT gold」により測定力を常に一定に保ち、法線方向に制御します。
各軸スケールには熱膨張の少ないZerodur®を採用し、独自のフローティングスケール保持方式や4方向エアベアリング支持、アクティブダンピングシステムで温度変化や振動の影響を低減。
VAST NavigatorやオプションのFlyScan機能・QuickChange機能・ロータリテーブルにより、高速・高効率な測定が可能です。
また、ZEISS AirSaverやPowerSaverでランニングコストも抑制します。

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